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光刻机板块盘中震荡走高，张江高科逼近涨停，茂莱光学大涨近10%，京华激光、容大感光、芯源微、福晶科技、炬光科技等跟涨。据媒体报道，上海微电子正致力于研发28纳米浸没式光刻机，预计在2023年年底将国产第一台SSA/800-10W光刻机设备交付市场。
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光刻机板块盘中震荡走高，张江高科逼近涨停，茂莱光学大涨近10%，京华激光、容大感光、芯源微、福晶科技、炬光科技等跟涨。据媒体报道，上海微电子正致力于研发28纳米浸没式光刻机，预计在2023年年底将国产第一台SSA/800-10W光刻机设备交付市场。
